工業(yè)測量顯微鏡也叫工具顯微鏡，廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè);

　　特別在電子行業(yè)，廣泛應(yīng)用于電路板、液晶模組、IC、光通訊、模具五金、汽車行業(yè)、計(jì)量行業(yè)和其它領(lǐng)域;

　　搭配XYZ三軸精密光柵尺，實(shí)現(xiàn)精確XYZ三軸測量、超視野XY幾何測量。

　　觀察、測量和處理，一步到位。

　　工業(yè)測量顯微鏡

　　工業(yè)測量顯微鏡有兩種照明方式：反射光和透射光。

　　照明方式不同，觀察成像也不同，因此需要根據(jù)不同的工件以及測量部位，選擇最適合的照明方式。

　　NO.1 透射照明

　　★采用透過輪廓光觀察的方法，特別是觀察測量輪廓時(shí)使用，邊緣清晰易于觀察。

　　NO.2 反射照明

　　★垂直照射測量工件的表面，用來表面性狀的觀察和測量。

　　使用工業(yè)測量顯微鏡有四種觀察方法，分別是：明場觀察、暗場觀察、偏光觀察、微分干涉(DIC)觀察。

　　NO.1 明場觀察

　　★垂直照射在樣品表面，適用于金屬、印刷電路板、IC、液晶ITO淺孔的表面觀察。

　　NO.2 暗場觀察

　　★通過對從工件發(fā)出的散射光進(jìn)行觀察，可完成在明場下觀察不到的PCB油墨顏色、塵埃、劃痕裂縫、凹凸、以及勝任低反射樣品的觀察。

　　NO.3 偏光觀察

　　★觀察具有偏光特性的物質(zhì)，適用于半導(dǎo)體材料、液晶、結(jié)晶、金屬組織、礦物、纖維等表面觀察。

　　NO.4 微分干涉(DIC)觀察

　　★利用DIC棱鏡將光線分為兩束，形成明暗和對比度變化，可進(jìn)行立體觀察。適用于觀察液晶模組的壓焊粒子，硅片的結(jié)晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢測、金屬組織、礦石表面、涂裝面等。