顯微鏡在工業(yè)測(cè)量中的應(yīng)用非常重要，其應(yīng)用范圍非常廣泛。特別是對(duì)電子行業(yè)來說，這是觀察電路板結(jié)構(gòu)和精確測(cè)量距離的有益助手。你對(duì)它的專業(yè)術(shù)語(yǔ)了解多少?

　　從顯微鏡的主要組成和光路圖開始，今天分享的內(nèi)容。

　　照明方式

　　上面提到了顯微鏡的三種照明方法。根據(jù)照明方法的不同，觀察顯像也不同，因此應(yīng)根據(jù)不同的工件和測(cè)量位置選擇最合適的照明方法。

　　01

　　散射照明

　　采用輪廓光觀察的方法，尤其是在觀察和測(cè)量輪廓時(shí)，邊緣清晰，更容易觀察。

　　02

　　垂直反射照明

　　其方法是對(duì)工件表面進(jìn)行垂直直射測(cè)量，其優(yōu)點(diǎn)是適用于表面特性的分析和測(cè)量。

　　03

　　外部照明(環(huán)形光纖，環(huán)形LED，雙光纖)

　　利用斜射光對(duì)工件表面進(jìn)行直接測(cè)量，可完成立體、色彩重復(fù)性好的分析。

　　以上我們已經(jīng)了解了顯微鏡的基本知識(shí)，所以在使用過程中會(huì)遇到一些專業(yè)術(shù)語(yǔ)。這是什么意思?

　　【專業(yè)術(shù)語(yǔ)】

　　綜合放大倍率

　　綜合放大倍數(shù)=目鏡倍數(shù)x物鏡倍數(shù)。

　　例如：在選擇10x目鏡和100x物鏡組合時(shí)，觀察圖像的綜合放大倍率=10x100=1000x。

　　視場(chǎng)數(shù)(F.N)

　　視場(chǎng)數(shù)是指目鏡能否在廣視線下觀察的指標(biāo)。樣品表面分析的重點(diǎn)在于目鏡的視場(chǎng)光闌直徑，稱為視場(chǎng)數(shù)(以mm為基準(zhǔn))。F.N=FieldNumber。

　　【安裝1x物鏡時(shí)，通過目鏡看到的圖像直徑為24mm】

　　實(shí)視場(chǎng)(FOV)

　　實(shí)際觀察和觀察工件的實(shí)際范圍，采用目鏡觀察。

　　即FOV：FieldOfView

　　【在分割板上(顯像鏡頭焦點(diǎn)位置)通過物鏡和顯像鏡頭之間的光進(jìn)行顯像，觀察被目鏡放大的圖像】

　　PC顯示倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))

　　PC顯示器倍數(shù)(電視綜合倍數(shù))是指相機(jī)拍攝元件的對(duì)角線長(zhǎng)度與PC顯示器屏幕的對(duì)角線長(zhǎng)度之比。當(dāng)顯微鏡通過CCD設(shè)備連接到計(jì)算機(jī)上進(jìn)行顯像觀察時(shí)，應(yīng)該對(duì)顯示器倍數(shù)進(jìn)行評(píng)估。

　　計(jì)算PC顯示器倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))的公式如下：

　　了解計(jì)算方法，一起檢查學(xué)習(xí)成果吧!測(cè)試如下：

　　問答題

　　使用10×物鏡?CCD相機(jī)2/3英尺?TV17英寸顯示器的綜合倍數(shù)是多少?

　　回答：電視綜合倍數(shù)=10×39.3=393×(大概400倍)

　　您是否正確回答?沒答對(duì)的朋友記得保存起來，多復(fù)習(xí)哦!具體分析如圖所示：

　　工作距離(WD)

　　工作距離代表聚焦時(shí)物體鏡頭的頂點(diǎn)到檢查材料表面之間的距離，在這個(gè)距離下可以完成清晰的聚焦。工作距離越長(zhǎng)，聚焦時(shí)操作性越好，不用擔(dān)心鏡頭會(huì)接觸到檢查對(duì)象。

　　WD：WorkingDistance，如下所示，距離示意圖：

　　齊焦距離(PFD)

　　聚焦距離是指聚焦時(shí)從物鏡安裝位置到聚焦時(shí)檢查材料表面之間的距離。也就是PFD：ParFieldDistance

　　這里需要注意的是，倍數(shù)不同，從物鏡安裝面到檢查材料表面的距離沒有變化，所以在變化倍數(shù)時(shí)不需要重新對(duì)焦。

　　焦點(diǎn)距離(FD)

　　焦距是指鏡頭(主點(diǎn))到焦距的距離。也就是FD：FocusDistance

　　焦點(diǎn)深層(DOF)

　　焦點(diǎn)深層代表焦點(diǎn)后，焦點(diǎn)位置前后移動(dòng)，前后移動(dòng)范圍可以清晰觀察。也就是DOF。：DepthOfFocus

　　這里需要注意的是：高倍率鏡頭倍數(shù)越大越深越淡(短)

　　低倍鏡頭倍數(shù)越小越深(長(zhǎng))

　　大約0.1到0.3人的視力范圍(大約0.1到0.3mm)要用顯微鏡觀察，有哪些觀察顯微鏡的方法?

　　觀察方法

　　01

　　明視場(chǎng)觀察

　　這種方法適用于金屬、印刷電路板、淺孔表面觀察的垂直直射測(cè)量物表面。

　　02

　　暗視場(chǎng)觀察

　　通過觀察工件發(fā)出的散射光，可以完成在明視場(chǎng)下無法觀察到的劃痕、灰塵和凹凸，同時(shí)可以作為低反射工件觀察。

　　03

　　偏光觀察

　　在半導(dǎo)體材料、液晶、晶體、金屬組織、礦物等表面觀察中，觀察具有偏光特征的物質(zhì)。

　　04

　　微分干預(yù)(DIC)觀察

　　利用Nomarski棱鏡將光源分成兩束，產(chǎn)生明暗和對(duì)比變化，可以進(jìn)行三維觀察。適用于觀察硅片的晶體缺陷、磁頭磨面的損壞檢查、涂層表面、金屬組織、礦石表面等。