數(shù)碼顯微鏡23個(gè)#電子材料7個(gè)#質(zhì)量控制5個(gè)#DVM6#研究開(kāi)發(fā)1個(gè)微電子和電子學(xué)的革新導(dǎo)致了樣品越來(lái)越小，傳統(tǒng)的雙目顯微鏡也在不斷面臨挑戰(zhàn)。然而數(shù)碼顯微鏡不使用目鏡，而是用戶可直接通過(guò)顯示器進(jìn)行觀察的特點(diǎn)，讓微電子的觀察效率有了很大的提高。

　　控制(QC/QA)或開(kāi)發(fā)(R&D)時(shí)，一些微電子器件的生產(chǎn)，如硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器，要求對(duì)其各個(gè)部件進(jìn)行檢查和質(zhì)量控制，全尺寸：從宏觀(>2毫米)->介觀尺度(10mm~25μm)->微觀尺度(1000μm~500nm)->納米尺度(<500nm)。需要使用數(shù)碼顯微鏡對(duì)零件快速進(jìn)行大視野成像，以及精準(zhǔn)的尺寸計(jì)量。從而滿足更快的改進(jìn)制作規(guī)范以及生產(chǎn)需求，優(yōu)化整個(gè)工作流程。使用徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡的以下性能，可快速得出檢查的可靠結(jié)果。本報(bào)告的重點(diǎn)將是大視野、測(cè)量功能及傾斜角度(下述紅色字體部分)。

　　自動(dòng)跟蹤和存儲(chǔ)的可重復(fù)，顯微鏡最重要的硬件參數(shù)可記憶(編碼)，例如，使用的倍數(shù)，照明和相機(jī)設(shè)置等參數(shù)條件可快速重現(xiàn);

　　超大變焦范圍16：1，鏡頭切換支持熱插拔;

　　二維尺寸測(cè)量及三維尺寸測(cè)量

　　快速角度旋轉(zhuǎn)，傾斜角度不同視角觀察樣品;

　　集成LED(發(fā)光二極管)環(huán)形光和同軸光，具有多方向的照明模式;

　　數(shù)字快照和數(shù)字10MP的數(shù)碼相機(jī)，高畫(huà)質(zhì)成像;

　　XY拼圖功能和Z軸掃描成像功能，可拍攝大范圍大景深的圖像;

　　DVM6數(shù)碼顯微鏡滿足微觀尺寸(10mm~500nm)的觀察，例如在電子零件領(lǐng)域用于測(cè)量硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器上零件通孔的直徑、周長(zhǎng)和深度分布，以及焊點(diǎn)的長(zhǎng)度、面積和高度分布。