金相顯微鏡是一種光學(xué)顯微鏡,專門用于觀察金屬材料和礦物質(zhì)等不透明物體的合金成分。它具有可靠性好、顯像清晰、屏幕分辨率高、視野大、光滑的特點(diǎn)。通過對(duì)被測(cè)物體的判斷和定量分析,對(duì)金相顯微鏡的校正工作至關(guān)重要。
金相顯微鏡是冶金工業(yè)、機(jī)械加工制造、高新技術(shù)等領(lǐng)域常用的檢測(cè)儀器。能準(zhǔn)確測(cè)量金屬復(fù)合材料合金成分馬氏體的晶粒大小等級(jí)、原材料熱處理工藝后氮化層的厚度等。為了更好地提高我國原材料產(chǎn)品的開發(fā)生產(chǎn)水平,必須對(duì)金相顯微鏡進(jìn)行校正和計(jì)量檢定。
今天將介紹金相顯微鏡校準(zhǔn)誤差的方法:
一、物鏡場曲。
安裝一物鏡,將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并卡住;旋轉(zhuǎn)對(duì)焦旋鈕,將聚焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的正中,視場管理中心顯像清晰,此時(shí)將千分表測(cè)頭與操作臺(tái)表面接觸,并對(duì)表面零位進(jìn)行對(duì)焦;再旋轉(zhuǎn)對(duì)焦旋轉(zhuǎn),將聚焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的邊緣,使視場邊緣顯像清晰。觀察千分表,其較大的偏差就是該物鏡的場曲偏差,其它物鏡依此類推進(jìn)行校正。
物鏡場曲偏差指標(biāo)值如下:10X<0.3mm,25X<0.mm,40X<0.07mm,63X<0.065mm,100X<0.04mm。
二、物鏡增大倍數(shù)的準(zhǔn)確性。
安裝10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡,將0.01毫米標(biāo)準(zhǔn)無微尺放在工作臺(tái)上并卡住。觀察時(shí),測(cè)量微尺應(yīng)與目鏡中的劃分板一致,偏移測(cè)量是增大倍數(shù)的偏差。其他物鏡應(yīng)類推校正,偏差不超過5%
三、目鏡分割板的精度。
旋轉(zhuǎn)帶分割板目鏡的相機(jī)鏡頭,將分割板放置在萬工顯工作臺(tái)上,調(diào)整調(diào)整鏡頭焦距的操作臺(tái),使分割板的直線與萬工顯垂直滑軌行程平行,對(duì)準(zhǔn)零位,每20格精確測(cè)量一次,直至第100格,偏差不超過5um。
四、物鏡顯像的明確類別。
用被檢物鏡和10X目鏡對(duì)微尺或金相分析試件進(jìn)行對(duì)焦,使圖像清晰。當(dāng)視場管理中心圖像最清晰時(shí),視場內(nèi)圖像清晰范圍的偏差不得少于60%
五、各物鏡相對(duì)于目鏡的格值。
安裝被檢儀器設(shè)備的10X目鏡,將0.01毫米標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量微尺(強(qiáng)烈建議使用任意0.01毫米測(cè)量微尺)放在工作臺(tái)上并卡住;調(diào)整測(cè)量微尺標(biāo)準(zhǔn)中心線與儀器設(shè)備目鏡標(biāo)準(zhǔn)中心線準(zhǔn)中心線的平行面,讀取目鏡劃分板i條刻度,包括測(cè)量微尺n條刻度數(shù)。與目鏡相比,目鏡的格值為:C=n/i*0.01毫米,其他物鏡的格值等于校正。