幾百年來，我們一直在用顯微鏡觀察外部經(jīng)濟(jì)，探索世界上看不見的東西。與19世紀(jì)的光學(xué)顯微鏡相比，我們現(xiàn)在使用的一般顯微鏡具有更多的功能、更高的自動化技術(shù)水平和更高的倍數(shù)。顯微鏡長期以來一直達(dá)到屏幕分辨率的極限。對于應(yīng)用可見光作為光源的光學(xué)顯微鏡，其屏幕分辨率僅半光波長，其屏幕分辨率極限為0.2^，一切低于0.2pLm結(jié)構(gòu)無法識別，使人們的探索受到限制。因此，提高光學(xué)顯微鏡屏幕分辨率的方法之一是盡量減少可見光波長。

　　進(jìn)入20世紀(jì)，光電技術(shù)獲得了長期的發(fā)展趨勢，選擇離子束替代只是一個好主意。根據(jù)德布羅意的物質(zhì)波基礎(chǔ)理論，移動電子器件不確定，速度越快“光波長”越來越少。如果電子設(shè)備的速度可以提高到足夠的速度并收集它，它可能被用來增加項目。當(dāng)電子設(shè)備的速度大大提高時，透射電子顯微鏡的屏幕分辨率可以達(dá)到納米(10-8m)，在透射電鏡下，許多在可見光下看不見的物體呈現(xiàn)出原始形狀。因此，透射電鏡是20世紀(jì)*關(guān)鍵發(fā)明創(chuàng)造之一兇猛。

　　法國技術(shù)工程師1947年MaxKnoU和ErnstRuska在全世界生產(chǎn)*臺式透射透射電子顯微鏡是一種利用塑料薄膜樣品的離子束進(jìn)行顯像或微區(qū)分析的電子顯微鏡。的電子顯微鏡。的部分信息內(nèi)容，是分析分子結(jié)構(gòu)、結(jié)晶不一致和微區(qū)域組成的綜合技術(shù)。

　　1952年，美國技術(shù)工程師制造*臺式掃描儀透射電鏡(SEM)O掃描儀電子顯微離子束采用光纖傳感器的方法對樣品表面進(jìn)行照射，通過分析射電電子器件與樣品表面化合物相互影響引起的各種信息，對樣品表面微區(qū)的外觀、成分和晶體學(xué)特征進(jìn)行科學(xué)研究。

　　1983年IBM公司蘇黎世實驗室的兩位生物學(xué)家發(fā)明并創(chuàng)造了掃描儀隧道施工光學(xué)顯微鏡。這種光學(xué)顯微鏡比透射電子顯微鏡更先進(jìn)。它完全失去了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的概念。隧道施工掃描儀顯微鏡是利用量子技術(shù)對隧道效應(yīng)的表面科學(xué)研究技術(shù)?？梢粤⒓从^察測試產(chǎn)品，起點*表面局域網(wǎng)結(jié)構(gòu)信息可以實現(xiàn)高像素的彈性散射⑴。它沒有相機(jī)鏡頭，應(yīng)用探頭，在探頭和物體之間加工電壓。如果探頭間距接近物體表面，大約在納米間距，隧道效應(yīng)*它將起作用。電子設(shè)備將穿過物體和探頭之間的間隙，產(chǎn)生非常弱的電流。如果探頭與物體之間的距離發(fā)生變化，電流將相對變化。這樣，根據(jù)準(zhǔn)確測量電流*可以理解物體表面的外觀，屏幕分辨率可以達(dá)到獨立分子的水平。透射電子顯微鏡的屏幕分辨率已達(dá)到0.l~0.3nm,即與金屬材料點陣式中分子間隔非常。

　　幾十年來，隨著新型透射電鏡的出現(xiàn)，透射透射電鏡應(yīng)運而生(TEM)，掃描儀透射電鏡(SEM)，原子力光學(xué)顯微鏡(AFM)，掃描儀隧道施工光學(xué)顯微鏡(STM)，正離子光學(xué)顯微鏡(FTM)，掃描儀激光聲音顯微鏡(SPAM)等透射電鏡大家族。EBSD，在探頭、激光探頭、俄羅斯能量光譜儀等表面分析技術(shù)的相互配合下，金相檢測技術(shù)的發(fā)展趨勢達(dá)到了一個新的階段。電子設(shè)備金相分析技術(shù)可以對金屬復(fù)合材料的斷裂外觀、組織結(jié)構(gòu)及其微觀成分進(jìn)行綜合分析和測量，然后對金屬復(fù)合材料和商工件的質(zhì)量管理，失敗表明新材料和加工技術(shù)的發(fā)展充分發(fā)揮著非常關(guān)鍵的作用。