ZZC系列工具測量顯微鏡技術(shù)參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型：

一、載物臺(tái)精度

1.1、XY跑數(shù)：5μm

1.2、線性精度：3 ＋ L/50μm (L為被測長度 單位：mm)

規(guī)格 金屬臺(tái)面尺寸 玻璃臺(tái)面尺寸 測量有效行程 光柵尺分辨率

ZZC-16HFA（16*12） 600*450 450*350 400*300 0.0005

ZZC-12HFA（12*8） 500*350 350*250 300*200 0.0005

ZZC-8HFA（8*6） 400*280 245*192 200*150 0.0005

ZZC-6HFA（6*4） 300*250 204*145 150*100 0.0005

ZZC-4HFA（4*4） 285*250 170*145 100*100 0.0005

1.3、重復(fù)定位精度：2μm

1.4、X⊥Y: 3μm /100mm（每100mm允許誤差3μm）

二、Z軸測量精度

2.1、線性精度：5+ L/25μm

2.2、Z重復(fù)定位精度：3μm

2.3、X⊥Z： 0.02mm

2.4、Y⊥Z： 0.02mm

高精度機(jī)型：

一、載物臺(tái)精度

1.1、XY跑數(shù)：3μm

1.2、線性精度：2.5 ＋ L/100μm (L為被測長度 單位：mm)

規(guī)格 金屬臺(tái)面尺寸 玻璃臺(tái)面尺寸 測量有效行程 光柵尺分辨率

ZZC-G12HFA（12*8） 500*350 350*250 300*200 0.0001

ZZC-G8HFA（8*6） 400*280 245*192 200*150 0.0001

ZZC-G6HFA（6*4） 300*250 204*145 150*100 0.0001

ZZC-G4HFA(4*4) 285*250 170*145 100*100 0.0001

1.3、重復(fù)定位精度：1μm

1.4、X⊥Y: 2μm /100mm（每100mm允許誤差2μm）

二、Z軸測量精度

2.1、線性精度：3+ L/25μm

2.2、Z重復(fù)定位精度：1μm

2.3、X⊥Z： 0.01mm

2.4、Y⊥Z： 0.01mm